Amorf Yarıiletkenler Laboratuvarı

Hakkında

Amorf Yarıiletkenler Araştırma Laboratuvarı’nda, hidrojenlendirilmiş amorf ve nano/mikrokristal silisyum ince film malzeme ile yansıtmaz ince film kaplamaların üretimi ve üretilen ince film malzemelerin elektriksel ve optik karakterizasyonu üzerine çalışmalar yapılmaktadır. İnce film malzeme üretimi için plazma destekli kimyasal buhar biriktirme ile film büyütme (PECVD) deney düzeneği kullanılmaktadır. Üretilen filmlere elektriksel kontak atmak için bir fiziksel buharlaştırma sistemi (PVD) kullanılmaktadır. Optik ve elektriksel karakterizasyon yöntemleri olarak geçirgenlik ve yansıtma ölçümü, 20 - 400K sıcaklık aralığında karanlık iletkenlik ölçümü, sabit fotoakım yöntemi ile soğurma katsayısı analizi ve fotolüminesans ölçümleri yapılabilmektedir.

Araştırma Olanakları

  • Plazma Destekli Kimyasal Buhar Biriktirme Sistemi (PECVD)
  • Fotolüminesans (PL)
  • Fourier Dönüşümlü Fotoiletkenlik (FTPS) 
  • Sabit Fotoakım Yöntemi (CPM)
  • Çift Demetli Fotoiletenlik Yöntemi (DBP)
  • Fotoiletkenlik Tepki Süresi (RITA)
  • Isıl Uyarmalı Akım (TOSCA)
  • Akım-Gerilim (IV)
  • Kararlı Durum Fototaşıyıcı Girişim Deseni
  • Optik Geçirgenlik ve Yansıma (T-R)
  • Sıcaklığa Bağlı Karanlık Akım-Aktivasyon (IT)
  • Sığa-Gerilim (C-V)
  • Buharlaştırıcı (EVA)
  • Kapalı Devre He Soğutucu (IGLO)
  • Tavlama Fırını (İSOT)

Araştırmacılar

•    Prof. Dr. Akın Bacıoğlu

Devam Eden Projeler

Tamamlanan Projeler

  •  “PMMAcoPHEMA ve PMMAcoPnBMA Kopolimerlerinin Sentezi Karakterizasyonu ve Lens Materyali Olarak Kullanımının Araştırılması” Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (FHD.2019.18339)(25.10.2019–27.12.2021)
  •  “Silikon Hidrojel Kontak Lenslerin Spektroskopik ve Optik Özelliklerinin Araştırılması” Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (FHD.2018.17084)(02.05.2018-01.07.2019)
  •  “Optik geçirgenlik ve yansıma ölçümlerinde kullanılacak, opto-mekanik parçaların tasarımı ve üretimi.” Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (FBB.2016.13184)(29.12.2016-07.08.2017)
  • “Hidrojenlendirilmiş nanokristal silisyum oksijen alaşımlarının (nc-SiOx:H; x<1) bantaltı soğurma spektrumlarının, Fourier Dönüşümlü Fotoiletkenlik Spektroskopisi (FTPS) ile incelenmesi.” Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (FBA.2015.5399)(29.04.2015-22.05.2017)
  • “Nanokristal silisyum Altoksit üretiminde kristalizasyon oranı tayini çalışmaları” Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (014.D05.602.001-610)(23.05.2014-14.08.2015)
  • “Fourier Dönüşümlü fotoiletkenlik tayfölçümü (FTPS) tekniği ile a-Si: H/c-Si heteroeklem güneş pillerinin bantaltı soğurma bölgesinin incelenmesi” Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (013.A.602.007-381) (31.10.2013-21.12.2015)
  • “PECVD Yöntemiyle c-Si/a-Si Heteroeklemlerin Büyütülmesi”, Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (010.D12.602.005). (28.01.2010-30.09.2013).
  • “a-Si:H/c-Si heteroeklem güneş pillerinin fabrikasyonu ve arayüzey kusurlarının incelenmesi”, TÜBİTAK, 108T016, (01.09.2008-01.09.2011
  • ”Hidrojenlendirilmiş amorf silisyum-oksijen alaşımlarının (a-SiOx:H, x<2) optoelektronik özelliklerinin incelenmesi ve bu alaşımlar kullanılarak üretilecek ışık yayan diyotların (LED) karakterizasyonu”. T.C. Başbakanlık-DPT Projesi, 2003,(03 K 120 570-1) (01.07.2003-06.08.2008) 
  • "Hidrojenlendirilmiş amorf silisyum-oksijen alaşımlarının (a-SiOx:H, x<2) fotolüminesans özelliklerinin incelenmesi", Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (01.02.602.004). (02.01.2002-02.01.2005)
  • “Hidrojenlendirilmiş amorf silisyum ve amorf silisyum-oksijen alaşımları üzerinde deneysel çalışmalar”, TÜBİTAK, TBAG-AY/327 (103T105). (01.07.2003-01.07.2004) 
  • "Hidrojenlendirilmiş amorf  silisyum filmlerde çok alçak sıcaklıklarda oluşturulan yarı-kararlı ışıl kusurların oluşum ve tavlanma kinetiği” Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (01.01.602.007) (01.07.2001-01.01.2004)
     

Yayınlar

  • Aslı Doğan, Akın Bacıoğlu  “Design of a passive optical athermalization of dual-band IR Seeker for precision guided-systems”, Journal of Modern Optics, 68(11), (2021), 593-603. https://doi.org/10.1080/09500340.2021.1937734
  • Begüm Çınar Bam, Kemal Rüzgar, Akın Bacıoğlu, Semra İde  “Structural analysis of hydrogenated nano-crystalline silicon suboxide (nc-SiOx H, x 1) thin films with SAXS for a potential application as phase change material” Surface and Coatings Technology, 374, (2019), 164-170. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.05.083
  • Kemal Rüzgar, Akın Bacıoğlu, “Effect of gradual widening of d/w-ratio on optical performance of photon sieves produced by two maskless lithography techniques: lift-off and chemical etching”, Journal of Modern Optics, 67(15), (2020), 1304-1313. https://doi.org/10.1080/09500340.2020.1844911
  • Kemal Rüzgar, Akın Bacıoğlu, “Process optimization of parameterized single shot method for a rapid production of photon sireve with direct write lithography”, Microelectronic Engineering, 209, (2019), 41-48. https://doi.org/10.1016/j.mee.2019.03.014
  • H.S. Salman, A. Bacıoğlu, S.K. Eken, “Crystallization of hydrogenated amorphous silicon thin film on glass by using ns-pulsed fiber laser operating at 1064 nm”, Materials Science in Semiconductor Processing, 95, (2019), 20-27. https://doi.org/10.1016/j.mssp.2019.02.006
  • H. Ertap, A. Bacioglu, M. Karabulut, Photoluminescence properties of boron doped InSe single crystals, Journal of Luminescence, 167, (2015), 227-232. http://dx.doi.org/10.1016/j.jlumin.2015.06.045
  • A.Bacıoğlu, H. Ertap, M. Karabulut ve G.M. Mamedov, “Sub-bandgap Analysis of Boron Doped InSe Single Crystals by Constant Photocurrent Method”, Optical Materials, 37 (2014), 70-73.  https://doi.org/10.1016/j.optmat.2014.04.047
  • A. Bacıoğlu, U.Kazan, S.İde, "Single and Multilayered a-SiOx:H (x<1) Thin Film Samples Analyzed by Optical Absorption and Small-Angle X-ray Scattering", Materials Chemistry and Physics, 146, (2014) 425-430 https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2014.03.048
  • H. Ertap, G.M. Mamedov, M. Karabulut, A. Bacıoglu, “Pool–Frenkel thermoelectric modulation of exciton photoluminescence in GaSe crystals” Journal of Luminescence, 131(7), (2011), 1376-9.https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2011.03.037
  • G.M. Mamedov, M. Karabulut, H.Ertap, A. O.Kodolbas, Ö. Öktü, A. Bacıoğlu, “Exciton photoluminescence, photoconductivity and absorption in GaSe0.9Te0.1 alloy crystals”, Journal of Luminescence, 129, (2009), 226-30, https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2008.09.015
  • A.Bacıoğlu, A.O.Kodolbaş, Ö.Öktü, “Temperature dependent photoluminescence of PECVD a-SiOx:H (x<2)”, Journal of Luminescence 130, (2010), 1730-7. https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2010.04.001
  • A.Bacıoğlu, A.O.Kodolbaş, Ö.Öktü, “ Deposition of highly photoconductive wide band gap a-SiOx:H thin films at a high temperature without H2 dilution” Solar Energy Materials and Solar Cells, 89 (1), (2005), 49-59, https://doi.org/10.1016/j.solmat.2005.01.001
  • A.O.Kodolbaş, B.Çomak, A.Bacıoğlu, Ö.Öktü, "Lateral photovoltage measurements in hydrogenated amorphous silicon and silicon-oxygen thin films ", Journal of Non-Crystalline Solids, 351-5, (2005), 426-31, https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2005.01.005
  • A.Bacıoğlu, A.O.Kodolbaş, Ö.Öktü, " Optimization of the RF power density to obtain good quality hydrogenated amorphous silicon films in a home made glow discharge system", Optical Materials, 25, (2004), 335-9, https://doi.org/10.1016/j.optmat.2003.08.004

Bağlantılar

https://avesis.hacettepe.edu.tr/bacioglu
https://yunus.hacettepe.edu.tr/~bacioglu/index.html
 
 
 

Hakkında

Amorf Yarıiletkenler Araştırma Laboratuvarı’nda, hidrojenlendirilmiş amorf ve nano/mikrokristal silisyum ince film malzeme ile yansıtmaz ince film kaplamaların üretimi ve üretilen ince film malzemelerin elektriksel ve optik karakterizasyonu üzerine çalışmalar yapılmaktadır. İnce film malzeme üretimi için plazma destekli kimyasal buhar biriktirme ile film büyütme (PECVD) deney düzeneği kullanılmaktadır. Üretilen filmlere elektriksel kontak atmak için bir fiziksel buharlaştırma sistemi (PVD) kullanılmaktadır. Optik ve elektriksel karakterizasyon yöntemleri olarak geçirgenlik ve yansıtma ölçümü, 20 - 400K sıcaklık aralığında karanlık iletkenlik ölçümü, sabit fotoakım yöntemi ile soğurma katsayısı analizi ve fotolüminesans ölçümleri yapılabilmektedir.

Araştırma Olanakları

  • Plazma Destekli Kimyasal Buhar Biriktirme Sistemi (PECVD)
  • Fotolüminesans (PL)
  • Fourier Dönüşümlü Fotoiletkenlik (FTPS) 
  • Sabit Fotoakım Yöntemi (CPM)
  • Çift Demetli Fotoiletenlik Yöntemi (DBP)
  • Fotoiletkenlik Tepki Süresi (RITA)
  • Isıl Uyarmalı Akım (TOSCA)
  • Akım-Gerilim (IV)
  • Kararlı Durum Fototaşıyıcı Girişim Deseni
  • Optik Geçirgenlik ve Yansıma (T-R)
  • Sıcaklığa Bağlı Karanlık Akım-Aktivasyon (IT)
  • Sığa-Gerilim (C-V)
  • Buharlaştırıcı (EVA)
  • Kapalı Devre He Soğutucu (IGLO)
  • Tavlama Fırını (İSOT)

Araştırmacılar

•    Prof. Dr. Akın Bacıoğlu

Devam Eden Projeler

Tamamlanan Projeler

  •  “PMMAcoPHEMA ve PMMAcoPnBMA Kopolimerlerinin Sentezi Karakterizasyonu ve Lens Materyali Olarak Kullanımının Araştırılması” Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (FHD.2019.18339)(25.10.2019–27.12.2021)
  •  “Silikon Hidrojel Kontak Lenslerin Spektroskopik ve Optik Özelliklerinin Araştırılması” Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (FHD.2018.17084)(02.05.2018-01.07.2019)
  •  “Optik geçirgenlik ve yansıma ölçümlerinde kullanılacak, opto-mekanik parçaların tasarımı ve üretimi.” Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (FBB.2016.13184)(29.12.2016-07.08.2017)
  • “Hidrojenlendirilmiş nanokristal silisyum oksijen alaşımlarının (nc-SiOx:H; x<1) bantaltı soğurma spektrumlarının, Fourier Dönüşümlü Fotoiletkenlik Spektroskopisi (FTPS) ile incelenmesi.” Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (FBA.2015.5399)(29.04.2015-22.05.2017)
  • “Nanokristal silisyum Altoksit üretiminde kristalizasyon oranı tayini çalışmaları” Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (014.D05.602.001-610)(23.05.2014-14.08.2015)
  • “Fourier Dönüşümlü fotoiletkenlik tayfölçümü (FTPS) tekniği ile a-Si: H/c-Si heteroeklem güneş pillerinin bantaltı soğurma bölgesinin incelenmesi” Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (013.A.602.007-381) (31.10.2013-21.12.2015)
  • “PECVD Yöntemiyle c-Si/a-Si Heteroeklemlerin Büyütülmesi”, Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (010.D12.602.005). (28.01.2010-30.09.2013).
  • “a-Si:H/c-Si heteroeklem güneş pillerinin fabrikasyonu ve arayüzey kusurlarının incelenmesi”, TÜBİTAK, 108T016, (01.09.2008-01.09.2011
  • ”Hidrojenlendirilmiş amorf silisyum-oksijen alaşımlarının (a-SiOx:H, x<2) optoelektronik özelliklerinin incelenmesi ve bu alaşımlar kullanılarak üretilecek ışık yayan diyotların (LED) karakterizasyonu”. T.C. Başbakanlık-DPT Projesi, 2003,(03 K 120 570-1) (01.07.2003-06.08.2008) 
  • "Hidrojenlendirilmiş amorf silisyum-oksijen alaşımlarının (a-SiOx:H, x<2) fotolüminesans özelliklerinin incelenmesi", Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (01.02.602.004). (02.01.2002-02.01.2005)
  • “Hidrojenlendirilmiş amorf silisyum ve amorf silisyum-oksijen alaşımları üzerinde deneysel çalışmalar”, TÜBİTAK, TBAG-AY/327 (103T105). (01.07.2003-01.07.2004) 
  • "Hidrojenlendirilmiş amorf  silisyum filmlerde çok alçak sıcaklıklarda oluşturulan yarı-kararlı ışıl kusurların oluşum ve tavlanma kinetiği” Hacettepe Ü. Bilimsel Araştırmalar Birimi (01.01.602.007) (01.07.2001-01.01.2004)
     

Yayınlar

  • Aslı Doğan, Akın Bacıoğlu  “Design of a passive optical athermalization of dual-band IR Seeker for precision guided-systems”, Journal of Modern Optics, 68(11), (2021), 593-603. https://doi.org/10.1080/09500340.2021.1937734
  • Begüm Çınar Bam, Kemal Rüzgar, Akın Bacıoğlu, Semra İde  “Structural analysis of hydrogenated nano-crystalline silicon suboxide (nc-SiOx H, x 1) thin films with SAXS for a potential application as phase change material” Surface and Coatings Technology, 374, (2019), 164-170. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.05.083
  • Kemal Rüzgar, Akın Bacıoğlu, “Effect of gradual widening of d/w-ratio on optical performance of photon sieves produced by two maskless lithography techniques: lift-off and chemical etching”, Journal of Modern Optics, 67(15), (2020), 1304-1313. https://doi.org/10.1080/09500340.2020.1844911
  • Kemal Rüzgar, Akın Bacıoğlu, “Process optimization of parameterized single shot method for a rapid production of photon sireve with direct write lithography”, Microelectronic Engineering, 209, (2019), 41-48. https://doi.org/10.1016/j.mee.2019.03.014
  • H.S. Salman, A. Bacıoğlu, S.K. Eken, “Crystallization of hydrogenated amorphous silicon thin film on glass by using ns-pulsed fiber laser operating at 1064 nm”, Materials Science in Semiconductor Processing, 95, (2019), 20-27. https://doi.org/10.1016/j.mssp.2019.02.006
  • H. Ertap, A. Bacioglu, M. Karabulut, Photoluminescence properties of boron doped InSe single crystals, Journal of Luminescence, 167, (2015), 227-232. http://dx.doi.org/10.1016/j.jlumin.2015.06.045
  • A.Bacıoğlu, H. Ertap, M. Karabulut ve G.M. Mamedov, “Sub-bandgap Analysis of Boron Doped InSe Single Crystals by Constant Photocurrent Method”, Optical Materials, 37 (2014), 70-73.  https://doi.org/10.1016/j.optmat.2014.04.047
  • A. Bacıoğlu, U.Kazan, S.İde, "Single and Multilayered a-SiOx:H (x<1) Thin Film Samples Analyzed by Optical Absorption and Small-Angle X-ray Scattering", Materials Chemistry and Physics, 146, (2014) 425-430 https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2014.03.048
  • H. Ertap, G.M. Mamedov, M. Karabulut, A. Bacıoglu, “Pool–Frenkel thermoelectric modulation of exciton photoluminescence in GaSe crystals” Journal of Luminescence, 131(7), (2011), 1376-9.https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2011.03.037
  • G.M. Mamedov, M. Karabulut, H.Ertap, A. O.Kodolbas, Ö. Öktü, A. Bacıoğlu, “Exciton photoluminescence, photoconductivity and absorption in GaSe0.9Te0.1 alloy crystals”, Journal of Luminescence, 129, (2009), 226-30, https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2008.09.015
  • A.Bacıoğlu, A.O.Kodolbaş, Ö.Öktü, “Temperature dependent photoluminescence of PECVD a-SiOx:H (x<2)”, Journal of Luminescence 130, (2010), 1730-7. https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2010.04.001
  • A.Bacıoğlu, A.O.Kodolbaş, Ö.Öktü, “ Deposition of highly photoconductive wide band gap a-SiOx:H thin films at a high temperature without H2 dilution” Solar Energy Materials and Solar Cells, 89 (1), (2005), 49-59, https://doi.org/10.1016/j.solmat.2005.01.001
  • A.O.Kodolbaş, B.Çomak, A.Bacıoğlu, Ö.Öktü, "Lateral photovoltage measurements in hydrogenated amorphous silicon and silicon-oxygen thin films ", Journal of Non-Crystalline Solids, 351-5, (2005), 426-31, https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2005.01.005
  • A.Bacıoğlu, A.O.Kodolbaş, Ö.Öktü, " Optimization of the RF power density to obtain good quality hydrogenated amorphous silicon films in a home made glow discharge system", Optical Materials, 25, (2004), 335-9, https://doi.org/10.1016/j.optmat.2003.08.004

Bağlantılar

https://avesis.hacettepe.edu.tr/bacioglu
https://yunus.hacettepe.edu.tr/~bacioglu/index.html